在应用非金属柔性元件的动连接密封中,也可以采用橡胶薄板为密封物质。橡胶薄板的外边缘固定在真空容器的外壁上,内边缘则固定在轴的突肩上。圆筒形橡胶薄板可以折叠180°,因此在利用圆筒形橡胶板时,连杆工作行程不超过隔板自由状态部分外径的10%。这种结构常常用在气动真空阀,以及低真空和中真空的阀门中。这种密封装置虽然结构比较简单、成本低廉,但是由于非金属软件的材料为真空橡胶制品,它不但不能承受转矩,也会因放气而影响真空室内真空度的提高,更不能承受高温的烘烤。因此不宜在超高真空动密封中使用。
2金属软件变形真空动密封连接在金属软件变形的真空动密封连接中,采用金属波纹管实现向真空中传递直线运动、摆动和旋转运动是比较方便的。其特点是在真空中的从动环节的位移量大、运动速度高、传递的负荷范围也较宽。
利用全金属波纹管制成的动密封装置,不但结构较简单,而且在结构中易实现两种或多种形式的传动。此外,由于波纹管是薄壁制成的金属管,并且富有弹性、容易弯曲、伸张和压缩,又能经受高温烘烤,因此,近年来在一些真空设备上得到了一定的应用。

金属波纹管的主要缺点是制造比较复杂,装配不够方便,而且不宜用于传递高速度的运动。波纹管在使用时也应注意,首先压缩要均匀,否则会在管子的圆周上产生局部应力而造成破裂。波纹管只能承受拉、压而不能承受扭转。这就使它的应用范围受到了限制。
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本文首发于《真空》杂志2014年第1期
原文标题:无泄漏的磁力传动真空动密封
文章作者》王德喜1,谢元华2,赵克中3,徐成海2
作者单位:1.沈阳工业大学化工装备学院;2.东北大学机械工程与自动化学院;3.甘肃省科学院磁性器件研究所