微加工与器件平台超洁净实验室。
如果在工作日打开微加工与器件平台的预约网站，会看到大多数先进仪器设备的介绍栏里有一个黄色小标，上面写着“工作中”。
今年1-7月，该平台百余台对外开放共享的设备所供服务机时已达到去年全年的80%。东莞本土、国内先进氮化镓芯片龙头企业正是在这里突破了关键技术难题，跻身一流的Mini/Micro LED显示芯片供应商。
正如五年前设立平台时所预想的那样，微加工与器件平台负责人贾海强发现，越来越多的东莞半导体企业开始技术转型，与此同时，平台不断提升的“设备能力+人才智力”的强大优势吸引着东莞、大湾区乃至全国各地的相关企业家携最新研发需求奔赴至此，进行创新技术研发。
微加工与器件平台是松山湖材料实验室布局的四大核心板块之一——公共技术平台和大科学装置的下设子平台。公共技术平台致力于建设系统的、国际一流的、综合性用户开放平台，以较为完备的先进仪器设备和多样的服务模式，助力企业技术研发。
共享先进仪器设备降低创新风险
以市场需求带动技术研发一直是产业集中地区的特色创新路径。
作为广东省首批启动建设的四家省实验室之一，自2018年成立之初，松山湖材料实验室就积极为东莞制造业企业向产业链上游发展谋篇布局。其中，微加工与器件平台立足于微纳加工技术前沿及半导体器件产业发展趋势，助力东莞的支柱产业电子信息制造业转型升级。
利用微加工与器件平台在氮化镓芯片方面的设备和工艺优势，一家研发氮化镓功率器件的企业瞄准突破了关键工艺制备技术，仅用半年就搭建起了工艺研发线，快人一步。如今，该企业派驻20余人的团队常驻松山湖材料实验室，进行自主研发。
高额的先进设备采购资金、求路无门的研发人员技能培训、创新失败的时间成本……这些让众多中小微企业对创新望而却步的难题，在松山湖材料实验室公共技术平台一一被解决。
“‘投入高风险低’是提供综合服务的公共技术平台的显著特点。”贾海强告诉，目前，微加工与器件平台硬件投入资金近4亿元，具备国内先进的8英寸向下兼容1代、2代、3代半导体微纳加工及3D集成能力，工艺研发领域涵盖微电子器件、光电子器件、MEMS器件等等。“许多我们三四年前从国外购置的设备现在已经买不到了，或者价格有较大增长。公共技术平台的共享服务降低了企业这些方面的资金投入风险。”贾海强表示。
不少从全国各地而来的研发团队实现了“从0到1”的技术落地，最终落户松山湖，助力东莞培育优势产业集群。“所谓东方不亮西方亮，半导体产业有许多方向值得研发，当某些方向正处于产业研发的低谷时，很多其他方向可能正处于产业研发的高潮。”贾海强表示。
除了微加工与器件平台之外，松山湖材料实验室建成的公共技术平台还包括材料计算与数据库平台、材料制备与表征平台、大湾区显微科学与技术研究中心。自对外开放服务以来，公共技术平台累计服务客户超300家，各类检测和微加工技术服务时长超15万小时、材料计算服务达800万核时。
多样服务模式提供智力支持
“欢迎各位企业家多多前来交流技术方案，我们材料制备与表征平台可以带给大家性价比极高的共享设备服务。”9月7日，在由松山湖科教局举办的“周二有约”之材料制备与表征平台上下游对接会上，松山湖材料实验室材料制备与表征平台副台长胡伟向来访的新材料企业代表介绍道。
为了鼓励中小微企业探索创新，少走弯路，材料制备与表征平台经常举办技术培训会、业务对接会，派出高级工程师与企业代表面对面交流，邀请企业家参观实验室。
据胡伟观察，在材料制备与表征平台目前合作的200多家机构中，东莞企业多以中小微企业为主，尤其需要公共技术平台的智力支持。
“大企业的技术人员本身能力就很强，他们清晰地知道所研项目目标，与我们沟通十分顺畅。但对于小微企业来说，限于技术和资金短缺，从费用预估到技术咨询、方案建议都更需要我们的详细解答。”胡伟表示，舍得对中小微企业倾力相助是材料制备与表征平台有别于众多第三方检测服务机构的显著特点。
材料制备与表征平台透射电镜。
以一家在松山湖从事新能源锂电池研发的初创企业为例，企业前来咨询时仅为委托检测，但在合作过程中在检测方法改进、检测效率和可靠性提升、检测设备操作培训等多方面收获满满，快速步入自购设备自主研发检测阶段。
目前，公共技术平台设置了委托测试、定制服务、委托开发、合作开发、自主开发、人员培训、工艺服务等多种服务模式。由科学家与资深产业技术专家组成的团队为高校、科研院所和企业单位提供高水平的业务咨询与服务。
【策划】黄少宏
【统筹】郑国豪
【采写】凌乐仪
【图片】陈雅靖 凌乐仪 松山湖材料实验室
【作者】 凌乐仪；陈雅靖
【来源】 南方报业传媒集团南方+客户端
