1，沈阳中科博微科技股份有限公司
沈阳中科博微科技股份有限公司，是由中国科学院沈阳自动化研究所发起创建的高新技术企业，公司同时承担着多个国家科技攻关、高技术产业化示范和“863”项目，是网络化控制系统国家工程研究中心依托单位。中科博微形成了从组态、监控软件、嵌入式软件、控制系统、仪表芯片到OEM板卡的系列化产品，产品出口欧美等发达国家，中科博微是工业自动化全系列产品提供商，在现场总线技术领域拥有领先地位。
2，沈阳芯源微电子设备股份有限公司
沈阳芯源微电子设备股份有限公司，成立于2002年，2019年12月16日，芯源公司在上交所科创板上市，成为“辽宁省科创板第一股”。公司是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，专业从事半导体生产设备的研发、生产。芯源公司座落在沈阳市浑南区，公司占地2万平米，是国内领先的高端半导体装备制造企业，产品涉及涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品，公司承担多个国家02科技重大专项项目，是中国半导体行业十强企业。
3，沈阳富创精密设备有限公司
沈阳富创精密设备有限公司，成立于2008年，是国家高新技术企业，公司以高效、精密制造技术为核心，主要面向半导体及航空两大领域。公司拥有现代化恒温机加工厂房13500㎡、万级洁净间500平方米，可对于上至G11代面板工艺设备的大型零件下至200mm晶圆设备零件进行纹理喷砂、化学清洗和阳极氧化，对于晶圆设备零件还可进行电解抛光和刷镀镍制程。是芯片装备精密制造领域的一支重要力量。
4，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，创建于1958年，前身为中国科学院沈阳科学仪器研制中心。园区位于辽宁省沈阳市浑南区，占地面积110亩。专注于高真空、超高真空、洁净真空技术的研究和发展，是我国集成电路装备和真空仪器设备的研制、生产基地，建设有“国家分子束外延技术试验基地”、“国家多功能电子能谱仪生产基地”、“国家真空仪器装置工程 技术研究中心”和“真空技术装备国家工程实验室”等科研平台 。公司在上海、南通设有2个子公司。
5，新松机器人自动化股份有限公司
新松机器人自动化股份有限公司，成立于2000年，隶属中国科学院，是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。是国家机器人产业化基地，本部位于沈阳，在上海设有国际总部，在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡、潍坊建有产业园区，现拥有4000余人的研发创新团队，形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。 新松也是国家科技02专项的承担单位，肩负着半导体设备研发的重任。产品累计出口40多个国家和地区。
6，沈阳硅基科技有限公司
沈阳硅基科技有限公司，成立于2004年，位于沈阳市出口加工区（综合保税区），占地面积4万平方米，是国家级的“高新技术企业”。公司拥有较先进的SOI专利技术和制造生产线，是一家致力于研发、生产和销售SOI晶圆片的高新技术企业，也是国内具有自主知识产权——“低温微波”薄膜转移技术的SOI材料供应商。主要产品包括8英寸薄膜SOI、6-8英寸硅-硅键合片、6-8英寸图形SOI以及8英寸外延片等。公司年产能20余万片，为国内外集成电路制造及芯片代工厂商提供SOI材料。
7，拓荆科技股份有限公司
拓荆科技股份有限公司，成立于2010年4月，公司总部坐落于沈阳市浑南区，是由海外专家团队和中科院所属企业共同发起成立的国家高新技术企业，专业从事高端半导体薄膜设备的研发、生产、销售与技术服务。公司多次承担国家重大专项。公司是中国半导体行业协会授予的“中国半导体设备五强企业”称号公司，在北京、上海、海宁成立三家子公司。产品主要应用于集成电路晶圆制造，以及TSV封装、光波导、OLED显示等高端技术领域。公司为北京、上海、武汉、合肥、天津、台湾等20多个地区提供了近40条生产线。
8，沈阳汉科半导体材料有限公司
沈阳汉科半导体材料有限公司，位于辽宁沈阳经济技术开发区，占地面积2万多平方米，公司主要生产的石英产品应用于半导体、FPD(第四代)和太阳能产业。主要客户包括半导体制造商与12”晶圆厂以及12”以下半导体客户，此外还有太阳能设备制造商及终端客户。公司共有200多名员工，近一半员工有超过10年的半导体石英加工、制造产业技术水平。
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